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詳細介紹
| 品牌 | 科冪儀器 | 升溫速度（達到最高溫） | ≤10℃/min |
|---|---|---|---|
| 內部尺寸 | Φ80*220mmmm | 加熱方式 | 電阻絲 |
| 最大功率 | 3KW | 控溫精度 | ±1℃ |
| 最高溫度 | 1200℃ | 價格區間 | 面議 |
| 儀器種類 | 管式爐 | 產地類別 | 國產 |
| 應用領域 | 化工,能源,電子,冶金,綜合 |
單溫區PE-CVD系統
特點：高性能(neng)射(she)頻(pin)電源.等離子體(ti)更穩定；
滑軌式(shi)結構能(neng)使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速(su)升(sheng)溫(wen)(wen)和降溫(wen)(wen)功能(neng)；
單溫區PE-CVD系統與傳統CVD相(xiang)比較.生長溫度更(geng)低
技術參數
項目(mu) | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 單溫區PE-CVD系統 |
可達溫度(du) | 1150℃（短期） | |
額定(ding)溫度 | 1100℃ | |
推薦(jian)升溫速率(lv) | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐(lu)管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐(lu)膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區長度(du) | 220mm | |
恒溫區長度 | 80mm | |
加熱(re)元件(jian) | 優(you)質國產(chan)電阻絲 | |
額(e)定(ding)功(gong)率(lv) | 3KW | |
供氣系統 | 三路(lu)高精度MFC 量程(cheng)0-500sccm（可定制） | |
射頻(pin)電源 | 射(she)頻(pin)功：5-500W；射(she)頻(pin)頻(pin)：13.56MHz；匹配方式：自(zi)動匹配 | |
真空系統 | 雙級旋片真空泵(beng)(beng)（可定制擴散泵(beng)(beng) 分子泵(beng)(beng)等） | |
外形(xing)尺寸 | 1250*510*810mm | |
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