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  • TFE-1200-50-220單溫區PE-CVD系統

    單溫區(qu)PE-CVD系(xi)統高性能射頻電源(yuan).等離子體更(geng)穩定;滑軌式結構能使整個(ge)反應腔室都(dou)處于輝光(guang)產生(sheng)區(qu).并可(ke)實現快速升溫和降溫功(gong)能; 與傳(chuan)統CVD相比較.生(sheng)長溫度(du)更(geng)低(di)

    更新日期:2023-08-09
    型號:TFE-1200-50-220
    廠商性質:生產廠家
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